IE414, IE514

IE414 和 IE514 是基于热阴极电离效应的高端真空传感器。IE414 是一种 Bayard-Alpert 真空计，而 IE514 则基于抽气机原理。这些无源真空计由 IM540 真空计控制器组合和控制。
 

通过调节阴极发射电流，IE414 的测量范围从 10-2毫巴到10 -11毫巴，跨度超过 9 个分度。由于采用了萃取器原理，IE514 可以达到 2×10-12mbar 的测量下限，这要归功于其本身减少了 X 射线和离子解吸效应。IE414 和 IE514 真空计头专为低放气真空系统设计，可在极高温度（400 °C）下烘烤。耐高温真空计头电缆套件也可用于超过 200 °C（传感器法兰处为 250 °C）的高温烘烤。

• 采用单独校准的传感系统，测量精度高

• 可更换阴极

• 极高的高温烘烤温度可达 400 °C
   

IE414

• Bayard-Alpert 传感原理

• 测量范围达 2×10-11毫巴

• 阴极发射电流调制（与 IM540 真空计控制器结合使用）
   

IE514

• 抽气机传感原理

• 低测量极限，低至 2×10-12mbar

• 显著降低 X 射线和离子解吸效应