Transpector® APX ALD 单压力残余气体分析仪

INFICON Transpector APX 是用于半导体和显示器制造过程监控市场领先的残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 深知半导体和显示器客户有着独特的需求，Transpector APX 的新修订版在保持行业领先的测量速度和灵敏度的同时，提供了更大的灵活性以满足特定的应用要求。Transpector APX 是用于 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 过程监控器。

下一代 Transpector APX ALD 单压入口系统设计用于在 ALD 或 PECVD 等容易产生颗粒或涂层的制程化学中生存。这允许在所有关键工艺步骤中进行连续监测，以捕获数据点。此外，入口温度可控，可抵御腐蚀性气体，这对于腔室清洁终点监测应用至关重要。