将您的制造过程控制提升到一个新的水平，通过INFICON的烃类检测器检测挥发性有机化合物。
我们的宽带、非选择性传感器可在恶劣的工业制造环境中监测关键过程——包括半导体、太阳能、制药或其他真空基过程——并以优异的灵敏度实时检测烃类和硅油。
无论是检测半导体中的光刻胶污染，还是在冻干应用中检测泵油污染，HCD传感器都是用户友好且有效的解决方案。它可无缝集成到现有系统或INFICON FabGuard®软件中。该传感器适用于任何腔室条件，且无需维护泵系统。
实时监控
定制化传感器操作控制与数据分析
通过数据采集实现无缝工具集成与可靠拦截
快速简便的传感器安装，小化工具占用空间
低总拥有成本，高投资回报率
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